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Stage에 대한 청정/열/진동/소음에 관한 연구
 
본 과제는 카메라 폰의 핵심 부품인 CCM(Campact Camera Module)의 인라인 생산 시스템을 구축하는 Linear stage의 청정, 열, 진동/소음 특성을 분석하고, 문제 발생시 이를 해결하는 과제이다. CCM 제조 공정은 µm 단위의 고정밀도를 요하므로 미세한 진동에 쉽게 영향을 받으며, 열에 의한 미세 변형 및 미세 먼지에 의해 제품의 불량률이 증가할 수 있다.

이를 위해, 제조 환경에서의 1 µm 이하의 진동 레벨과 50 ℃이하의 허용 온도, 그리고 고청정 환경을 유지하기 위해 실험 및 stage의 모델 변경을 수행한다.
 
작동 시 XYθ stage의 진동 특성

 
XYθ-Stage

 
Zθ stage 도면 및 미세 먼지 방출 개략도